最終更新日:
2023-07-12 11:43:59.0
長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効
日本電子株式会社 水晶振動子式膜厚コントローラ/モニターに接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。
真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子（クリスタル）枚数を、選択して組み合わせることができます。
〇特長
・検出孔が定位置
・晶振動子（クリスタル）が6枚または12枚装着可能
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基本情報
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| 価格情報 | 価格に関してはお問い合わせください。 |
|---|---|
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
| 納期 |
お問い合わせください
※ 配送地域によって変動がございますので、お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | BS-04 series |
| 用途／実績例 | 【用途】 真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御 |
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