日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 

(旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社

Druck 高精度シリコン振動式圧力センサー『TERPS 8100シリーズ』

最終更新日: 2023-08-07 17:18:03.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

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関連情報

Druck 高精度シリコン振動式圧力センサーTERPS 8100
Druck 高精度シリコン振動式圧力センサーTERPS 8100 製品画像
【その他の特長】
■高精密度:±0.01% FS(非直線性、ヒステリシス、繰り返し性、温度特性)
■優れた長期安定性:±0.01% FS/Year
■広温度範囲:-55℃ to +125℃
■TTL周波数及びダイオード電圧アナログ出力又はRS-232, RS-485、USB 2.0、CAN Busデジタル出力
■各種圧力継手、電気接続コネクタ
■最小限の取り付け方向の影響

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Druck 半導体アプリケーション用圧力センサ
Druck 半導体アプリケーション用圧力センサ 製品画像
【半導体製造装置向け圧力センサ各種】
半導体製造装置に使われるガスの圧力制御には高い精度が要求されます。ドラックでは半導体装置のサブシステム内の圧力を計測するセンサ、ドライ・エッチングのマスフロー・コントローラに使用できる高精度の圧力センサ、大気圧計など。

■ADROITシリーズ: 今年登場の新製品。デジタル温度補正機能を搭載したアナログ圧力センサ。温度変化の激しい環境でも精度の高い圧力センシングが可能です。VCR継手に対応。
■UNIK5000: 汎用性の高いアナログ圧力センサ。VCR継手に対応。
■TERPSシリーズ: ドラックトップクラスのシリコン・ピエゾ方式を採用した高性能圧力センサ。大気圧測定にも好適。VCR継手に対応。
■DPS5000シリーズ:デジタル圧力センサ。

■モジュール機能:お客様のご要望に合わせて、モジュールをカスタマイズできます。何種類ものシリコン、圧力範囲、温 度、サイズ、材質から選択可能。(詳しくはカタログをダウンロードしてご覧ください)


※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
Druck【気象分野向け】高精度圧力センサTERPS 8100
Druck【気象分野向け】高精度圧力センサTERPS 8100 製品画像
【その他の特長】
■補正温度範囲にわたって±0.1 mbar(0.1 hPa)の精度を備えた気圧計圧力
■構成可能な圧力範囲(例:500~1080mbar、750~1150 mbar)
■複数の出力構成(TTL とダイオード、RS-232 とRS-485)
■各種の圧力・電気接続

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Druck 高精度シリコン振動式圧力センサーTERPS 8000
Druck 高精度シリコン振動式圧力センサーTERPS 8000 製品画像
【その他の特長】
■高精密度:±0.01% FS(非直線性、ヒステリシス、繰り返し性、温度特性)
■優れた長期安定性:±0.01% FS/Year
■圧力レンジ:200kPa(abs) to 7MPa(abs)及び大気圧
■広温度範囲:-40℃ to +85℃
■TTL周波数及びダイオード電圧アナログ出力又はRS-232, RS-485デジタル出力
■各種圧力継手、電気接続コネクタ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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