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Druck TERPS:半導体産業を支える革新的な真空圧力測定技術

TERPSの概要と特徴 •高精度・高安定性: 精度は±0.01%FS、長期安定性は年間で0.01%FS未満を達成し、温度感度も多点補償により大幅に低減可能です。 •広範な測定レンジ: 真空用途においては、中真空から大気圧まで、一般的に使用されるレンジをカバーできます。10Paから大気圧までの連続測定レンジを提供します。 •優れた直線性: 低圧域でも非常に優れた直線性を示し、1Pa〜1000…

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