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【スケールウォッチャー導入効果事例】半導体工場

最終更新日: 2024-06-13 15:42:30.0
シャワーノズル・吐出配管・ストレーナーの詰まり無し!メンテナンスは高圧洗浄のみ

水処理装置『スケールウォッチャー』の半導体工場における、
導入効果事例をご紹介します。

シャワーノズル・吐出配管・ストレーナーの詰まりが無くなり、
スクラバーの不具合を改善。

また、基板完全不良率の改善と銅残りによる手直し発生率の改善も
実現しました。

【効果】
■スクラバーの不具合を改善
■ラジエータ冷却効率低下を改善
■基盤完全不良率を改善
■銅残りによる手直し発生率を改善

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