NiTi合金の熱浸透率・熱伝導率分布技術資料・事例集 | カタログ

NiTi合金の熱浸透率・熱伝導率分布

最終更新日: 2024-11-03 17:44:42.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日：2012/2/23
表面からの距離による熱浸透率の変化が一目瞭然に！
「NiTi合金の表面からの距離による熱浸透率の変化」

"やきなまし" の前と後では、表面からの距離が変化し、同時に熱浸透率も変化します。ベテルのサーマルマイクロスコープTM3なら、熱浸透率の変化が一目瞭然です！

関連情報

【測定分野】　熱浸透率・熱伝導率分布　【TM3】

【主な特長】
○薄膜と微小領域の熱物性測定に
○試料に金属薄膜を成膜し、加熱用レーザにより周期加熱
○ＳｉＣ多結晶（セラミックス）の熱伝導率分布を測定可能

【その他の特長】
○ＳｉＣ多結晶の熱伝導率分布（産総研先進製造プロセス研究部門）
→焼結体のマイクロメートルオーダーの熱伝導率分布を可視化
→ワイドバンドギャップ材料のＧａＮ、ダイヤモンドも測定可能
→各種材料の熱物性分布測定がマイクロメートルオーダーの分解能で可能
→材料内の熱物性分布を評価することで、高熱伝導率の材料特性の大幅な向上が期待できる
○熱物性顕微鏡による材料の均一性評価
→ＡｌＮの熱伝導率分布（産総研先進製造プロセス研究部門）
→金属ガラス（東工大）

●詳しくはお問い合わせ下さい。

熱伝導率測定　受託測定　依頼測定ご利用条件

【主な特長】
○測定内容、試料形状、表面処理に関してはあらかじめご相談の上最適な測定方法を決定
○必要な場合は秘密保持（ＮＤＡ）の契約書を送付

【その他の特長】
○熱物性顕微鏡　サーマルマイクロスコープ　ＴＭ３
→測定対象：固体材料
→試料外形：□１０ｍｍ　ｔ＝３ｍｍ以内（それ以外は要相談）
→表面形状：鏡面研磨が必要（微小粒子の場合は包埋が必要）
→表面処理：スパッタが必要
→参照試料
　　　薄膜の場合は、基板上の薄膜の測定
○熱物性測定装置　サーモウェーブアナライザ　ＴＡ３
→測定対象：固体材料
→試料外形：□２０ｍｍ　ｔ＝０．１ｍｍ以上（それ以外は要相談）
→表面形状：極端な凹凸がないこと
→表面処理：黒化処理が必要（炭素系の材料の場合は不要）
→参照試料：不要

●詳しくはお問い合わせ下さい。

サーマルマイクロスコープ/TM3　薄膜、微小領域熱伝導率測定

【特徴】
○検出光スポット径３μmにより高分解能で微小領域の熱物性測定（点・線・面測定）が可能です。
○半導体レーザーによる非接触測定です。
○周期加熱を行う事で、深さの範囲を変えての測定が可能ですので薄膜・多層膜からバルク材まで測定出来ます。
〇基板上の試料も測定出来ます。
〇薄膜下のクラック・ボイド・剥離の検出が可能です。

●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

【測定事例】<LED材料>窒化ガリウムGaNの熱伝導率測定

窒化ガリウム（GaN）は、青色LED材料のほか、
シリコンカーバンド（SiC）と同様に、
次世代の「ワイドバンドギャップ半導体材料」として注目されています。

GaN は、Si や SiC のように単体のウエハーで作成されるわけではなく、
Si やサファイア上にエピタキシャル成長で薄膜上に作成されます。
したがって、熱伝導率を評価したい場合、薄膜状態で評価しなければなりません。

また、純度の高い結晶を作成する方法も開発されてますが、
大きさは爪の先ほどの微小サイズにとどまっているようです。

サーマルマイクロスコープTM3は、上記どちらの形状の
熱伝導率／熱浸透率測定に対応しております。

ここでは詳しい数値はご紹介できませんが、
ほぼ文献値に対応した数値が得られています。

たとえば、微小サイズだと、100μm程度の粒子の評価が可能です。
（SiC 粒子の例）
薄膜だと、サブミクロンオーダーから測定ができます。
（超伝導薄膜の例）

当社のサーマルマイクロスコープTM3は、
薄膜の熱伝導率（100nm～）、微小領域の熱浸透率（3μm～）の測定ができる装置です。

【測定事例】＜ヒートシンク＞窒化アルミAlNの熱伝導率評価

窒化アルミAlNは、絶縁性が高く、熱伝導率が高いため、
ヒートシンクやプリント基板の材料として、広く利用されています。
パワーデバイスやLEDなど単位面積当たりの発熱量が大きい材料として、
窒化アルミのような放熱材料は、今後ますます重要となってきます。

窒化アルミ（セラミックス）は、焼結法で作成されますが、
作成法により熱伝導率が大きく変化します。
近年では、作成法の高度化により、
高い熱伝導率をもつAlNが開発されています。

高い熱伝導率を持たせるためには、焼結状態の制御が重要ですが、
そのためには、微細な熱伝導率の分布を評価する必要があります。

従来の方法では、微細な領域の熱伝導率分布の測定は困難でしたが、
サーマルマイクロスコープＴＭ３なら、
最小3μmの分解能で熱伝導率の測定が可能です。

【測定事例】　NiTi合金の熱浸透率・熱伝導率分布　【TM】

"やきなまし"の前後で、試料の熱浸透率の分布が変化しています。
"やきなまし"により、より熱浸透率が均質な NiTi合金が生成されていることが分かります。

熱物性ブログでは、最新の熱物性測定事例をご紹介しています。　
http://blog.thermal-measurement.info

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