■周波数(*):25kHz / 40 kHz / 80kHz / 120kHz / 170kHz
■外径寸法 (mm):W336.5×D485×H144
■重量 (kg):13.6
(*)周波数は型番によって異なります。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2022/6/1
GCX洗浄機の高周波特殊タイプの発振器は、高周波数帯においてよりアクティブな超音波動作を実現し、半導体などの精密洗浄に対応。
【特長】
- 安定した出力
- アラームによる洗浄物の品質維持、管理
- より均一な洗浄を実現するスイープモード
- ラインレギュレーション/ロードレギュレーション/周波数自動追尾機能
- キャビテーションとマイクロストリーミングのW効果
- バッチ式・枚葉式の両方に対応可能
- パージ仕様/密閉式の各振動子に対応可能
- 最高使用液温 70℃ (200kHz)/100℃ (109kHz, 170kHz)(沸騰なきこと)
- タッチスクリーン(HMI)
- 精密なパワーコントロール機能
- 超音波状況パワーグラフ表示
- RS-485によりリアルタイム情報出力
【洗浄用途】
半導体(ウエハー・C-MOS)、半導体精密部品、メタルマスク、サファイア基板、水晶基板、石英ガラス、光学レンズ 等
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日本エマソン株式会社 ブランソン事業本部