日本エマソン株式会社 ブランソン事業本部

超音波洗浄器 GCXシリーズ 高周波特殊タイプ発振器

最終更新日: 2022-06-14 10:59:34.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2022/6/1
GCX洗浄機の高周波特殊タイプの発振器は、高周波数帯においてよりアクティブな超音波動作を実現し、半導体などの精密洗浄に対応。
【特長】
- 安定した出力
- アラームによる洗浄物の品質維持、管理
- より均一な洗浄を実現するスイープモード
- ラインレギュレーション/ロードレギュレーション/周波数自動追尾機能
- キャビテーションとマイクロストリーミングのW効果
- バッチ式・枚葉式の両方に対応可能
- パージ仕様/密閉式の各振動子に対応可能
- 最高使用液温 70℃ (200kHz)/100℃ (109kHz, 170kHz)(沸騰なきこと)
- タッチスクリーン(HMI)
- 精密なパワーコントロール機能
- 超音波状況パワーグラフ表示
- RS-485によりリアルタイム情報出力

【洗浄用途】
半導体(ウエハー・C-MOS)、半導体精密部品、メタルマスク、サファイア基板、水晶基板、石英ガラス、光学レンズ 等

関連情報

超音波洗浄器「GCXシリーズ」
超音波洗浄器「GCXシリーズ」  製品画像
【仕様】
■周波数(*):25kHz / 40 kHz / 80kHz / 120kHz / 170kHz
■外径寸法 (mm):W336.5×D485×H144
■重量 (kg):13.6

(*)周波数は型番によって異なります。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高周波超音波洗浄機『N9000シリーズ』
高周波超音波洗浄機『N9000シリーズ』 製品画像
【共通仕様】
■電源(V):AC200V~AC230V ±10% 単相 50Hz or 60Hz ±2%
■基本機能:パワーコントロール/周波数自動追尾モード
■外形寸法(mm):W360×D480×H150 (コネクタ、ファン、スイッチ等の突起物は除く、ゴム足は含む)
■重量(kg):約14kg
■所要電力:1.80kVA(1200W出力時)
■仕様環境
・温度:5~40℃
・湿度:0~80%(結露なきこと)
■振動子の最高使用液温度:70℃(沸騰なきこと)
■対応可能な超音波振動子 (公称出力)- 1200W以上も製作可能:1200W

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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