■ 設計排気速度 100 ~ 600 m3/h
■ 到達真空度 0.01 ~ 0.001 hPa (mbar)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■ 到達真空度 0.01 ~ 0.001 hPa (mbar)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最終更新日:
2021-03-18 14:15:46.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2021/3/16
ロードロックチャンバーの排気向け真空ソリューション。クラス最高レベルの排気速度を誇ります！
=== ポンプの特長 ==========
● クラス最高レベルの排気速度
● 省エネ、低メンテナンス、高アップタイム
● コンパクトで軽量
=== 用 途 ================
● ロードロックチャンバーの排気
=== テクニカルデータ抜粋 =====
● 設計排気速度
TORRI BD 0100 A: 100 m3/h
TORRI BD 0300 A: 300 m3/h
TORRI BD 0600 A: 600 m3/h
●到達真空度
TORRI BD 0100 A: 0.01 hPa (mbar)
TORRI BD 0300/0600 A: 0.001 hPa (mbar)
●外形寸法(L×W×H), 質量
TORRI BD 0100 A: 450×230×275 mm, 60kg
TORRI BD 0300/0600 A: 530×230×520 mm, 120kg
■お知らせ■
これらの製品はカタログの内容も含め、海外の仕様で記載されております。
日本仕様の真空ポンプについては日本ブッシュにお問い合わせ下さい。
関連情報
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
日本ブッシュ株式会社
