最終更新日:
2021-03-22 12:34:48.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
空冷、100m3(60Hz)、到達真空0.01 hPa。コンパクトでパワフルなドライ真空ソリューション！
=== ポンプの特長 ==========
● 空冷：効率的な空冷システム搭載
● コンパクト：独自開発のスクリューで排気パスが短い構造
=== 用 途 ================
● 半導体のライトプロセス
● リークディテクター
● 粒子加速装置
● グローブボックス など
=== テクニカルデータ抜粋 =====
● 設計排気速度 (50/60Hz)：85 / 105 m3/h
● 到達真空度：0.01 hPa (mbar)
● 外形寸法 (L×W×H)：634 x 304 x 338 mm
● 質量：120 kg
■お知らせ■
これらの製品はカタログの内容も含め、海外の仕様で記載されております。
日本仕様の真空ポンプについては日本ブッシュにお問い合わせ下さい。
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