最終更新日:
2023-01-10 15:08:32.0
ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です！
【製品説明】
多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。
優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。
【特長】
■ フレキシブル
ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間
■ 高効率
省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム
■ コンパクト
非常に小型で軽量
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
■ 設計排気速度 100 ~ 600 m3/h
■ 到達真空度 0.01 ~ 0.001 hPa (mbar)
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| 価格情報 | お問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | TORRI |
| 用途／実績例 | ロードロックチャンバーの排気 |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TORRI BD 0100 A | 設計排気速度：100 m3/h、到達真空度：0.01hPa、到達真空度における消費電力：0.4 kW 、外形寸法(L×W×H)：450 × 230 × 275 mm |
| TORRI BD 0300 A | 設計排気速度：300 m3/h、到達真空度：0.001hPa、到達真空度における消費電力：0.5 kW 、外形寸法(L×W×H)：530 × 230 × 520 mm |
| TORRI BD 0600 A | 設計排気速度：600 m3/h、到達真空度：0.001hPa、到達真空度における消費電力：0.6 kW 、外形寸法(L×W×H)：530 × 230 × 520 mm |
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