【その他特長】
■高輝度:4μm解像10W~8μm解像30W
■高拡大率:FOD 0.29mm
■X線照射角:頂角168°
■パルス照射:パルス幅最小50msec、10Hz周期
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■高輝度:4μm解像10W~8μm解像30W
■高拡大率:FOD 0.29mm
■X線照射角:頂角168°
■パルス照射:パルス幅最小50msec、10Hz周期
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キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社