キヤノンアネルバ株式会社

栗木本社

真空計シリーズ(クリスタルゲージ/電離真空計/サーモカップル真空計)

最終更新日: 2022-01-25 14:46:23.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』
ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』 製品画像
【仕様(抜粋)】
■圧力表示範囲:0.1×10^-7~1.32×10^1Pa
■圧力表示:測定レンジ自動切換
■セットポイント:2点標準装備(オープンコレクタ)
■外形寸法(mm):H99×W209×D330
■質量:1.9kg(オプションボード未装着時)
■エミッション電流:10μA、100μA、1mA自動切換設定または固定設定
■標準構成:真空計本体(測定球及びケーブルは構成品に含まれません)
■対応:CEマーキング、RoHS

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』
電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』 製品画像
【その他特長】
■APC(自動圧力制御)用に、便利なレンジホールド機能を標準装備
■TC、CM などのあら引きゲージから B-A ゲージへ自動切換する
 オートフィラメント機能が搭載(M-823HG)
■ガス種による比感度の設定が可能
■電源電圧は、AC100Vの他、AC115/200/230Vも特注にて対応可能
■様々なオプションにより機能を拡張できる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』
ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』 製品画像
【仕様(抜粋)】
■圧力表示範囲:0.01×10^-7~13.2×10^0Pa
■圧力表示:デジタル、測定レンジ自動切換
■セットポイント:2点標準装備(ヒステリシス付き)
■通信機能:RS232C標準搭載(9600、4800、2400、1200bps)
■外形寸法(mm):104W×99H×296D
■質量:1.2Kg
■消費電力:50VA AC90~240V 50/60Hz
■標準構成:真空計本体(測定球及び、ケーブルは構成品に含まれません)
■対応:CEマーキング、RoHS

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クリスタルゲージ『M-320XG』
クリスタルゲージ『M-320XG』 製品画像
【仕様(抜粋)】
■測定球:XG-1クリスタルゲージヘッド(クリスタルゲージ専用)
■測定圧力範囲:1×10^-2Pa~大気圧
■Gas種選択:N2、Ar、H2、Air
■入出力コネクタ:Dsub 15P
■外形寸法(mm):72.5H×102W×44.5D(ゲージヘッド含まず)
■質量:200g(ゲージヘッド含まず)
■所要電力:DC 22V~33V、(最大消費電力2W)
■センサー取り付けフランジ:NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
測定球『ミニチュアゲージ』
測定球『ミニチュアゲージ』 製品画像
【仕様(抜粋)】
■ボディー材質:SUS304
■感度:0.045Pa^-1
■測定球容積:約12cc
■デガス方式:グリッド通電

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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