キヤノンアネルバ株式会社

栗木本社

四重極型質量分析計(プロセスガスモニタ)『M-080QA-HPM』

最終更新日: 2022-01-25 14:46:23.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』
プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』 製品画像
【仕様(抜粋)】
■測定質量範囲:m/z 1~80
■動作圧力:2.0Pa 以下
■最小検知濃度:5ppm(H2 を除く)H2:100ppm
■SEM感度:7.5 × 10^-5 A/Pa 以上
■ファラディ感度 :7.5 × 10^-9 A/Pa 以上
■接続フランジ:φ 70ICF
■質量:分析管1.1kg コントローラー2.2kg
■通信規格:RS-232C または RS-485
■制御ソフトウェア:QUADVISION3 Win7、8.1、10 対応

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