【仕様(抜粋)】
■測定質量範囲:m/z 1~80
■動作圧力:2.0Pa 以下
■最小検知濃度:5ppm(H2 を除く)H2:100ppm
■SEM感度:7.5 × 10^-5 A/Pa 以上
■ファラディ感度 :7.5 × 10^-9 A/Pa 以上
■接続フランジ:φ 70ICF
■質量:分析管1.1kg コントローラー2.2kg
■通信規格:RS-232C または RS-485
■制御ソフトウェア:QUADVISION3 Win7、8.1、10 対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■測定質量範囲:m/z 1~80
■動作圧力:2.0Pa 以下
■最小検知濃度:5ppm(H2 を除く)H2:100ppm
■SEM感度:7.5 × 10^-5 A/Pa 以上
■ファラディ感度 :7.5 × 10^-9 A/Pa 以上
■接続フランジ:φ 70ICF
■質量:分析管1.1kg コントローラー2.2kg
■通信規格:RS-232C または RS-485
■制御ソフトウェア:QUADVISION3 Win7、8.1、10 対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。