【その他の特長】
■油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られる
■10^-1Pa~10^-9Paの圧力範囲で動作、極高真空の作成に好適
■運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利
■二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が大きくなっている
(アルゴンで空気の約21%)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られる
■10^-1Pa~10^-9Paの圧力範囲で動作、極高真空の作成に好適
■運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利
■二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が大きくなっている
(アルゴンで空気の約21%)
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