【その他の特長】
■新開発のポンプ素子で低い圧力領域での放電を改良し、NEG(非蒸発型ゲッタ)
モジュールにより、10^-10Pa台を実現
■組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
■40%のサイズダウン(当社比)
■カバー、マグネットなどの塗装には、スムーズな表面の耐熱塗装が施されている
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■新開発のポンプ素子で低い圧力領域での放電を改良し、NEG(非蒸発型ゲッタ)
モジュールにより、10^-10Pa台を実現
■組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
■40%のサイズダウン(当社比)
■カバー、マグネットなどの塗装には、スムーズな表面の耐熱塗装が施されている
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