【その他の特長】
■イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能
■イオンポンプ、ターボモレキュラポンプ、クライオポンプと併用すると、
大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的
■小型軽量で取付場所を選ばない
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能
■イオンポンプ、ターボモレキュラポンプ、クライオポンプと併用すると、
大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的
■小型軽量で取付場所を選ばない
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