【仕様】
■耐圧力:0.1MPa(内部真空、外部大気圧)
■許容加熱温度:350℃
■温度変化:25℃/min以下
■リーク量:1.3×10^-11Pa・m3/sec以下
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■耐圧力:0.1MPa(内部真空、外部大気圧)
■許容加熱温度:350℃
■温度変化:25℃/min以下
■リーク量:1.3×10^-11Pa・m3/sec以下
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キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社