キヤノンアネルバ株式会社

栗木本社

超高真空バリアブルリークバルブ

最終更新日: 2022-05-18 20:02:27.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

超高真空バリアブルリークバルブ
超高真空バリアブルリークバルブ 製品画像
【仕様(抜粋)】
■使用真空領域:大気圧~10^-8Pa程度
■調節可能最少リーク量:6.7×10^-9Pa・m3/sec以下
■バルブ全閉時リーク量:6.7×10^-11Pa・m3/sec以下
■許容加熱温度:450℃(開閉いずれも可)
■ガスケットの寿命
 ・約300回シール(室温使用時)
 ・約30回シール(ベーキングを伴う場合)(ガスケット交換可能)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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