【仕様(抜粋)】
■使用真空領域:大気圧~10^-8Pa程度
■調節可能最少リーク量:6.7×10^-9Pa・m3/sec以下
■バルブ全閉時リーク量:6.7×10^-11Pa・m3/sec以下
■許容加熱温度:450℃(開閉いずれも可)
■ガスケットの寿命
・約300回シール(室温使用時)
・約30回シール(ベーキングを伴う場合)(ガスケット交換可能)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■使用真空領域:大気圧~10^-8Pa程度
■調節可能最少リーク量:6.7×10^-9Pa・m3/sec以下
■バルブ全閉時リーク量:6.7×10^-11Pa・m3/sec以下
■許容加熱温度:450℃(開閉いずれも可)
■ガスケットの寿命
・約300回シール(室温使用時)
・約30回シール(ベーキングを伴う場合)(ガスケット交換可能)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。