【仕様(抜粋)】
■使用圧力領域:大気圧~10^-2Pa程度
■リーク量:<5×10^-7Pa・m3/sec
■コンダクタンス:420L/min(20℃空気に対する分子流領域での値)
■メンテナンスタイム:30,000サイクルまたは1年
■接続フランジ:NW25フランジ
■使用流体:大気またはガス(腐食性ガスを除く)
■使用環境:周囲温度10℃~40℃
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■使用圧力領域:大気圧~10^-2Pa程度
■リーク量:<5×10^-7Pa・m3/sec
■コンダクタンス:420L/min(20℃空気に対する分子流領域での値)
■メンテナンスタイム:30,000サイクルまたは1年
■接続フランジ:NW25フランジ
■使用流体:大気またはガス(腐食性ガスを除く)
■使用環境:周囲温度10℃~40℃
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。