【特徴】
○特殊ブラシにより、パターン間の形状にフレキシブルに対応可能
○ファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的
○薄物基板に対応
○吸着コンベアを採用し薄物基板も安定搬送
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
○特殊ブラシにより、パターン間の形状にフレキシブルに対応可能
○ファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的
○薄物基板に対応
○吸着コンベアを採用し薄物基板も安定搬送
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