【金属膜厚測定可能金属】
[金属膜厚測定について]
○金:Min40Å(0.004μm)~
○銅:Min200Å(0.020μm)~
○ニッケル:Min200Å(0.020μm)~
○銀:Min200Å(0.020μm)~
○錫:Min200Å(0.020μm)~
【その他】
〇アルミニウム酸化膜他についてはパラメータ開発中
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
[金属膜厚測定について]
○金:Min40Å(0.004μm)~
○銅:Min200Å(0.020μm)~
○ニッケル:Min200Å(0.020μm)~
○銀:Min200Å(0.020μm)~
○錫:Min200Å(0.020μm)~
【その他】
〇アルミニウム酸化膜他についてはパラメータ開発中
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。