L/S 2μm対応『室温スパッタ装置』は、 基板とプラズマ領域が分離されており、熱ダメージを抑えつつ、高い密着力を実現する装置です。
510mm×610mm(最大730mm×920mm)の大型基板に対応し、基板2枚並行処理も可能です。
各種薄膜形成、シード層形成(過マンガン酸・無電解めっきからの置換)などの用途に適しています。
【特長】
○精密有機パッケージ基板に最適
○高い生産性
○膜種例:Ti、Cu、Al、ITO、IZO、SiN、SiO3、Al2O3、Ni、etc.
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報
【その他取扱商品】
[生産機器]
○投影露光装置(LED光源搭載)
○塗布装置/印刷装置
○ケミカル処理装置(アンポックファーイースト社製)
○高精度ルーター機(ターリーテクノロジー社製)
○ブラシ式基板クリーナー(キューブリック社製)
○X線多層板検査装置(ソフテックス社製)
○高精度穴検査装置(ワールドテック社製)
○自動ビン打ちテープ貼り機(タイヨー工業社製)
○自動乾燥炉(グローアップ社製)
[分析装置]
○硫酸銅めっき液全自動管理装置
○硫酸銅めっき液添加剤測定装置
○酸化膜・金属膜厚測定装置
○熱リン酸中のSi濃度分析装置
○電解・無電解液の各種メタル分析装置
○3D加熱表面形状測定装置
○銅膜厚測定器
[実験・評価用装置]
○R&D用塗布装置
○R&D用露光装置
○硫酸銅めっき液添加剤測定装置
○酸化膜・金属膜厚測定装置
○3D加熱表面形状測定装置
[光学コンポーネント製品]
○メタルハライド光源装置
○露光装置用UV-LED光源
○露光装置用超高圧水銀ランプハウス
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報 | お問い合わせください |
---|---|
納期 |
お問い合わせください
※ お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ○各種薄膜形成、シード層形成(過マンガン酸・無電解めっきからの置換) ○膜種例(Ti、Cu、Al、ITO、IZO、SiN、SiO2、Al2O3、Ni、etc.) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社サーマプレシジョン
- 加熱反り測定装置
- 酸化膜測定装置
- インラインタイプ 基板・フィルム清浄装置
- 金属表面処理剤
- 研究開発用スリットコータ
- インライン型スリットコータ
- 応用露光装置
- 基板関連ソリューション
- すべての製品・サービス