株式会社サーマプレシジョン

L/S 2μm対応『室温スパッタ装置』

最終更新日: 2023-01-06 15:11:52.0
半導体、プリント基板、表面処理に!高い密着力を実現する室温スパッタ装置

L/S 2μm対応『室温スパッタ装置』は、 基板とプラズマ領域が分離されており、熱ダメージを抑えつつ、高い密着力を実現する装置です。
510mm×610mm(最大730mm×920mm)の大型基板に対応し、基板2枚並行処理も可能です。
各種薄膜形成、シード層形成(過マンガン酸・無電解めっきからの置換)などの用途に適しています。

【特長】
○精密有機パッケージ基板に最適
○高い生産性
○膜種例:Ti、Cu、Al、ITO、IZO、SiN、SiO3、Al2O3、Ni、etc.

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基本情報

【その他取扱商品】
[生産機器]
○投影露光装置(LED光源搭載)
○塗布装置/印刷装置
○ケミカル処理装置(アンポックファーイースト社製)
○高精度ルーター機(ターリーテクノロジー社製)
○ブラシ式基板クリーナー(キューブリック社製)
○X線多層板検査装置(ソフテックス社製)
○高精度穴検査装置(ワールドテック社製)
○自動ビン打ちテープ貼り機(タイヨー工業社製)
○自動乾燥炉(グローアップ社製)
[分析装置]
○硫酸銅めっき液全自動管理装置
○硫酸銅めっき液添加剤測定装置
○酸化膜・金属膜厚測定装置
○熱リン酸中のSi濃度分析装置
○電解・無電解液の各種メタル分析装置
○3D加熱表面形状測定装置
○銅膜厚測定器
[実験・評価用装置]
○R&D用塗布装置
○R&D用露光装置
○硫酸銅めっき液添加剤測定装置
○酸化膜・金属膜厚測定装置
○3D加熱表面形状測定装置
[光学コンポーネント製品]
○メタルハライド光源装置
○露光装置用UV-LED光源
○露光装置用超高圧水銀ランプハウス

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用途/実績例 【用途】
○各種薄膜形成、シード層形成(過マンガン酸・無電解めっきからの置換)
○膜種例(Ti、Cu、Al、ITO、IZO、SiN、SiO2、Al2O3、Ni、etc.)

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