MEMS技術
シチズンファインデバイスは『MEMS＆LIGA』を用いて、ウエハプロセスから
実装までワンストップで行います。
高精度・高剛性・高平坦・高アスペクトの「MEMS治具」の提供や、
超微細加工で液体を制御する検査・創薬用チップ「マイクロ流路」の
設計、成形から接合、検査まで一貫対応します。
実装までワンストップで行います。
高精度・高剛性・高平坦・高アスペクトの「MEMS治具」の提供や、
超微細加工で液体を制御する検査・創薬用チップ「マイクロ流路」の
設計、成形から接合、検査まで一貫対応します。
