最終更新日:
2024-09-11 11:26:39.0
エッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐プラズマ性・密着性に優れた「イットリア」を提供
当社は、半導体製造の分野における、
熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。
窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。
イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。
溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。
【特長】
■窒化アルミは、半導体装置向け、検査用ダミーウエハ向けの他、
エッチング工程向け、CVD工程向けをご用意
■イットリアは、φ330までの焼結材部品を提供可能。
溶射したときは気孔率1％以下を実現できます
※詳しくは、PDFダウンロードよりカタログをご覧ください。
お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
当社は、「低コスト」「短納期」「高品質」「高純度」などの幅広いニーズにお応えするために、
さまざまな用途・環境で活用できるファインセラミックス製品をご提案いたします。
熱の特性(熱伝導性)、異物に関する特性(パーティクル低減)などで
お困りの方は、お気軽にご相談ください。
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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| 用途／実績例 | ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 |
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千代田交易株式会社
