小形流量コントローララピフローFCMシリーズ

最終更新日: 2021-03-03 11:30:59.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

小形・高速・多機能で応える。
◆発売以来ご好評を頂いておりますＦＣＭシリーズに、さらに、
　水素、ヘリウムが適応流体に加わり多彩な用途にご利用できます。

【特　長】
　・小形、軽量　（70×70×30）
　・シリンコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップ採用で
　　0.5secの高速制御が可能
　・デジタル表示器搭載で制御状態が一目で確認できます
　・高信頼の流量制御特性（再現性；±1％FS／精度；±3％FS）
　・空気、窒素、アルゴン、酸素、メタン、プロパンと多種流体に対応
　・ＲｏＨＳ指令に対応
　・パラレル入力タイプを標準で用意

関連情報

小形流量コントローララピフロー（Ｒ）FCMシリーズ

流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。
IO-Linkにも対応し、工場の更なるIoT化に貢献します。

【適応流体・流量範囲】
空気、窒素：0.015~50ℓ/min
アルゴン：0.015~50ℓ/min
酸素、都市ガス、メタン、プロパン：0.015~10ℓ/min
水素、ヘリウム：0.06~20ℓ/min

ダイヤル付きスピードコントローラ「DSCシリーズ」

【基本仕様】
チューブ外径　
・コンパクトタイプ　エルボタイプ　Φ3.2～φ8　
・コンパクトタイプ　インラインタイプ　Φ４～φ12
・標準タイプ　エルボタイプ　Φ4～φ12

接続口径
・コンパクトタイプ　エルボタイプ　M5～R1/8　
・コンパクトタイプ　インラインタイプ　06∼10
・標準タイプ　エルボタイプ　R1/8～R1/2
　　　　　　　

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