CKD株式会社

プロセスガス用レギュレータ「PGMシリーズ」

最終更新日: 2023-02-09 17:47:18.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2023/2/8
高精度な圧力 流量調整で 超安定プロセスを実現
業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。

【高シール性】
プロセス安定化に貢献
● 弁座部の最適設計と超精密加工
● 弁閉動作時の2次側への漏れ(出流れ)を極限まで抑制精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

【高い微小流量制御性】
安定かつスムーズな動作を実現
● 弁座部形状の最適設計
● 微小流量でも安定制御

【ヒステリシス低減】
狙いの圧力に確実にミート
● 高品質材料の採用
● 超精密加工

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