水素、ヘリウムに対応した小形流量コントローラ
流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。 IO-Linkにも対応し、工場の更なるIoT化に貢献します。 【特 長】 ・シリンコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップ採用で 0.5secの高速制御が可能 ・デジタル表示器搭載で制御状態が一目で確認できます ・高信頼の流量制御特性(再現性;±1%FS/精度;±3%FS) ・空気、窒素、アルゴン、酸素、メタン、プロパンと多種流体に対応 ・RoHS指令に対応 ・パラレル入力タイプを標準で用意
流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。 IO-Linkにも対応し、工場の更なるIoT化に貢献します。 【特 長】 ・シリンコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップ採用で 0.5secの高速制御が可能 ・デジタル表示器搭載で制御状態が一目で確認できます ・高信頼の流量制御特性(再現性;±1%FS/精度;±3%FS) ・空気、窒素、アルゴン、酸素、メタン、プロパンと多種流体に対応 ・RoHS指令に対応 ・パラレル入力タイプを標準で用意