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薬液用マニュアルバルブ 「MMD※03RNシリーズ」

最終更新日: 2024-06-05 14:49:52.0
選びやすさと使いやすさを追求!

薬液用マニュアルバルブの新型スタンダードタイプです。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
締付防止機構・誤作動防止ロックリングなどの新機構で信頼性を向上しました。

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基本情報

使用流体:薬液、純水、空気、N2ガス
流体温度:5〜120℃
耐圧力:1.0MPa

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 MMD
用途/実績例 半導体製造装置など

詳細情報

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【使用圧力範囲を拡大】
従来品パート2シリーズより使用圧力範囲を拡大。
A、Bポートの使用圧力を共通化。
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【使用温度範囲を拡大】
材質の見直しによる高温対応。
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【標準仕様で様々な薬液に対応】
耐薬品性に優れたフッ素樹脂「PVDF」を アクチュエータに採用することで、酸・アルカリ問わず、形番の使い分け無しで幅広く対応。
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【シール部破損防止】
締め付け防止機構付きハンドル:シールに適正な締め付け状態になるとハンドルが空回りし、過剰締め付けを防止。
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【誤作動防止】
ロックリング:ロック機構・カバー機構により意図しない開閉を防止。

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【シール部破損防止】
締め付け防止機構付きハンドル:CKDオリジナルの構造で、ハンドル動作によるシール部の破損リスクを極限まで抑制。

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