最終更新日:
2023-06-27 10:13:34.0
選びやすさと使いやすさを追求！
薬液用マニュアルバルブの新型スタンダードタイプです。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
締付防止機構・誤作動防止ロックリングなどの新機構で信頼性を向上しました。
基本情報
使用流体：薬液、純水、空気、N2ガス
流体温度：5〜120℃
耐圧力：1.0MPa
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | MMD |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置など |
詳細情報
【使用圧力範囲を拡大】
従来品パート2シリーズより使用圧力範囲を拡大。
A、Bポートの使用圧力を共通化。
従来品パート2シリーズより使用圧力範囲を拡大。
A、Bポートの使用圧力を共通化。
【使用温度範囲を拡大】
材質の見直しによる高温対応。
材質の見直しによる高温対応。
【標準仕様で様々な薬液に対応】
耐薬品性に優れたフッ素樹脂「PVDF」を アクチュエータに採用することで、酸・アルカリ問わず、形番の使い分け無しで幅広く対応。
耐薬品性に優れたフッ素樹脂「PVDF」を アクチュエータに採用することで、酸・アルカリ問わず、形番の使い分け無しで幅広く対応。
【シール部破損防止】
締め付け防止機構付きハンドル:シールに適正な締め付け状態になるとハンドルが空回りし、過剰締め付けを防止。
締め付け防止機構付きハンドル:シールに適正な締め付け状態になるとハンドルが空回りし、過剰締め付けを防止。
【誤作動防止】
ロックリング：ロック機構・カバー機構により意図しない開閉を防止。
ロックリング：ロック機構・カバー機構により意図しない開閉を防止。
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