CKD株式会社

エアオペレイトバルブ「AGDシリーズ」

最終更新日: 2024-05-17 12:59:15.0
メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブです 3方弁、2連3方弁など多種多様なバリエーションに対応をしております。

【スタンダードタイプ】
耐久性:100万回(実績値400万回)
集積化ガス供給システムに対応(1.5inch、1.125inch)

【内部シールの性能アップ】
最適なシール構造と面粗度の向上によるパーティクルの発生を削減。

基本情報

まずはカタログご覧ください

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型番・ブランド名 AGD
用途/実績例 薬ガス供給設備向け機器
薬液供給設備向け機器
半導体製造工程(前工程)
N2パージ関連機器

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