最終更新日:
2024-05-17 12:59:15.0
業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。
【高シール性】
プロセス安定化に貢献
● 弁座部の最適設計と超精密加工
● 弁閉動作時の2次側への漏れ(出流れ)を極限まで抑制
【高い微小流量制御性】
安定かつスムーズな動作を実現
● 弁座部形状の最適設計
● 微小流量でも安定制御
【ヒステリシス低減】
狙いの圧力に確実にミート
● 高品質材料の採用
● 超精密加工
基本情報
まずはカタログご覧ください
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | PGM |
用途/実績例 | 薬ガス供給設備向け機器 薬液供給設備向け機器 半導体製造工程(前工程) N2パージ関連機器 |
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
CKD株式会社