最終更新日:
2024-05-17 12:59:15.0
1台で シロキサン・オゾン 2種類の汚染物質除去
■1台で2種類の汚染物質除去
活性炭エレメントを採用し、シロキサンとオゾンを1台で除去
■高圧・大流量対応可能
圧縮空気・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用可能
■高い除去率
99%以上のシロキサン吸着性能・オゾン分解性能
■省スペース
当社調質機器とモジュール接続が可能で省配管を実現
基本情報
詳しくはカタログをご覧ください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ライン・システムのクリーンエア化 >電子部品・光学部品製造ライン >半導体製造システム >二次電池製造システム などおすすめ |
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