CKD株式会社

CKD 低圧電空レギュレータ EVLシリーズ

最終更新日: 2024-05-17 12:59:15.0
50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールできる小形/低圧/電空レギュレータです。

■特徴
【低圧コントロール】
 0~50kPaまでの低圧制御が可能。
【高精度コントロール】
 ヒステリシス:0.5%F.S.
 分解能:0.2%F.S.
【クリーン】
 流路部ノングリス
【保護構造IP64】
 電気配線:M12コネクタ

■事例
 研磨力コントロールやCMP装置など

基本情報

詳しくはCKDホームページをご覧ください

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 EVLシリーズ
用途/実績例 CMP装置、研磨力コントロール

詳細情報

使用事例 CMP装置.png
使用事例1
使用事例 研磨力コントロール.png
使用事例2

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