最終更新日:
2024-05-17 12:59:15.0
50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度に自在にコントロールできる小形/低圧/電空レギュレータです。
■特徴
【低圧コントロール】
0~50kPaまでの低圧制御が可能。
【高精度コントロール】
ヒステリシス:0.5%F.S.
分解能:0.2%F.S.
【クリーン】
流路部ノングリス
【保護構造IP64】
電気配線:M12コネクタ
■事例
研磨力コントロールやCMP装置など
詳細情報
使用事例1
使用事例2
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CKD株式会社