最終更新日:
2024-05-17 12:59:15.0
非接触浮上搬送を可能にする浮上プレートです。 様々な用途に合わせ、5種類のレール、パットから選択可能です。
■特徴
【非接触浮上搬送】
新素材多孔質の採用により、安定した浮上を実現。
ワークに接触することなく、スムーズに搬送可能。ワークへの帯電も防止可能。
【視認性アップ】
ブラックボディの採用により、乱反射がなく、ワークの視認性向上。
高感度検査に最適。
浮上エアのパーティクルを抑制。
【用途に合わせ選択】
精密浮上、ラフ搬送、プロセス工程のローダーなど、用途に合せて浮上パッドとレールタイプを自由に選択可能。
基本情報
詳しくはCKDホームページをご覧ください
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | GFMシリーズ |
用途/実績例 | ガラス基板等の搬送からプロセス、製品検査に至るまで、基板の浮上用途・高精度浮上に対応 位置決め・ラフ搬送・搬送・ローダー・アンローダー・各種プロセス |
ラインナップ
型番 | 概要 |
---|---|
GFM-T | 高浮上レール・浮上量250μm以上 |
GFM-RS | 浮上レール 標準タイプ・浮上量150μm以上 |
GFM-RF | 浮上レール 汎用タイプ・浮上量150μm以上 |
GFM-P | 精密浮上ステージ・浮上量30±6μm |
詳細情報
【非接触浮上搬送】
新素材多孔質の採用により、安定した浮上を実現。
ワークに接触することなく、スムーズに搬送可能。
ワークへの帯電も防止可能。
新素材多孔質の採用により、安定した浮上を実現。
ワークに接触することなく、スムーズに搬送可能。
ワークへの帯電も防止可能。
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