最終更新日:
2024-05-17 12:59:15.0
【太陽電池、FPD、半導体製造工程に】長寿命、高耐久性を実現。高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブ
【長寿命・高耐久】(パート7シリーズ)
独自構造により長寿命と使い勝手を向上したスタンダードモデル。
成形べローズの形状最適化により高い耐久性。
アルミボディ採用で軽量化。
実力値300万回の圧倒的な耐久性(当社規定条件にて)。
【設置・配管の自由度アップ】(パート7シリーズ)
4方向の任意の位置に操作ポートを選択可能。
4面すべてに動作位置検出用の超小形スイッチの搭載可能。
【長寿命・低発塵】(パート3シリーズ)
バルジ一体成形法により、流路が流線形で表面が滑らかでガス溜りなし。
長寿命成形べローズ。
SUSボディタイプ。
ラインナップ
型番 | 概要 |
---|---|
AVB※17 | 接続方式: NW16、25、40、50、63、80 作動方式: NC形 ボディ: アルミボディ |
AVB※47 | 接続方式: NW25、40、50、63 作動方式: 二段形 ボディ: アルミボディ |
AVB※37 | 接続方式: NW16、25、40、50、63、80、100 作動方式: 複動形 ボディ: アルミボディ |
AVB※13 | 接続方式: NW25,40,50,80 作動方式: NC形 ボディ: ステンレスボディ |
AVB※23 | 接続方式: NW25,40,50,80 作動方式: NO形 ボディ: ステンレスボディ |
AVB※33 | 接続方式: NW25,40,50,80 作動方式: 複動形 ボディ: ステンレスボディ |
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