当社で取り扱う『エキシマレーザ』の高エネルギーUVパルスを
マイクロエレクトロニクス、ディスプレイ、理科学研究、メディカル、
薄膜加工にご活用いただけます。
試作品から大量生産まで、適切な出力レベルに対応。均一な大面積の
フラットトップビームでサンプル表面を覆います。
また、低温薄膜加工により、レーザエネルギーを選択的に照射できます。
【特長】
■大型フィールドサイズの加工
■調整可能なUV出力
■低温薄膜加工で、レーザエネルギーを選択的に照射可能
■50年にわたるエキシマレーザの経験
■幅広いレーザ出力とエネルギーの選択肢をご用意
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】
■ExciStar(高繰返周波数:最大1kHz)
■IndyStar(高パルスレート:24時間)
■COMPex(高エネルギー:数百mJ)
■LEAP(出力レベルの幅広い選択肢)
■LAMBDA SX(高出力:最大600ワット)
■VYPER(超高出力:最大3600ワット)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■マイクロエレクトロニクス、ディスプレイ、理科学研究、メディカル、薄膜加工 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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コヒレント・ジャパン株式会社 本社、大阪支店、厚木TEC
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