『Monacoシリーズ』は、24時間稼働の製造環境にも対応可能な産業用
フェムト秒レーザ(IR/グリーン/UV)です。
小型ワンボックス設計で組込み用途から理科学実験まで、さまざまなニーズに
適応可能。また、パルスエネルギーおよび繰返周波数を自由に可変できます。
モバイルデバイス製造、レーザガラス切断、有機ELディスプレイの加工、
ウェハダイシング、薄膜切断などのアプリケーションにおいて、非常に少ない
熱影響での精密微細加工を実現します。
【特長】
■24時間稼働の製造環境にも対応可能
■小型ワンボックス設計
■組込み用途から理科学実験までさまざまなニーズに適応
■非常に少ない熱影響での精密微細加工を実現
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基本情報
【製品情報】
■UVモデル(345nm)
・平均出力: ~30W、パルスエネルギー:~37.5μJ@800kHz、繰返周波数:~4MHz、パルス幅:<500fs
■Greenモデル(517nm)
・平均出力:~30W、パルスエネルギー:~40μJ@750kHz、繰返周波数:~1MHz パルス幅:<350fs
■IRモデル(1035nm)
・平均出力:~60W、パルスエネルギー:~80μJ@750kHz、繰返周波数:~1MHz(最大繰返周波数:~50MHz)、
パルス幅:<350fs、パルス幅可変機能付(<350fs~>10ps)
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コヒレント・ジャパン株式会社 本社、大阪支店、厚木TEC
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