半導体関連製品 一覧
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半導体の製造プロセスに必要な石英ガラス、炭素・炭化ケイ素製品をはじめ、高度な機能を有する各種ファインセラミックス製品や合成石英製品などを開発・供給しています。
独自の高純度化技術と大型化・精密化・モジュール化など特殊な形状・構造を実現する加工技術を駆使して、製造プロセス上の課題に、特徴のあるアプリケーションを提案。
半導体の高集積化や生産性向上に貢献する部材としてユーザーからの高い信頼を得ており、多くの製品が高い市場シェアを獲得しています。
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【無料進呈中！】エンジニアリングセラミックス製品 総合カタログ
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各種無機材料製品をはじめ、フォトマスクやガラス溶解炉用部材などをラインアップ！様々な分野で活用されているセラミック製品も掲載中！
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最終更新日：2022-04-11 11:48:35.0
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シリコンサセプター
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使用時のパーティクル発生リスクが非常に低い、高純度のシリコンサセプター。最大φ510mmまで対応可能！
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最終更新日：2022-11-30 13:42:54.0
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カーボンサセプター
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高温に強く、ヒートショックに耐えるクリアーカーボン！ウェーハの温度分布を均一に制御！
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最終更新日：2022-04-11 11:48:35.0
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SiCウェハボート
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高温での使用が可能で1350℃まで対応可能！主要装置メーカーの認定を取得しており、パーティクル発生を抑制します。
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最終更新日：2022-04-11 11:48:35.0
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インライン・ガスフィルター『CEPURE』
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圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性などガスフィルターに求められる特性面も優れています！高純度アルミナを使用
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最終更新日：2022-04-11 11:48:35.0
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真空破壊用『ブレイクフィルター』 ※詳細資料を無料進呈中！
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【１本から対応可能】真空装置のパーティクル低減・スループットの向上を可能にし、多彩なラインナップでお客様のニーズにお応えします！
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最終更新日：2022-04-11 11:48:35.0
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真空排気用『ソフバックフィルター』 ※詳細資料を無料進呈中！
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【１本から対応可能】粗引き時のダスト舞上がり防止を実現し、粗引き時間の短縮に貢献！実験例もカタログに掲載中！
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最終更新日：2022-04-11 11:48:35.0
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ニアネットシェイプ法 石英ガラスレンズ
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形状自由度が高く複雑形状へも対応！仕上加工が不要なため低コストで製造可能！
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最終更新日：2022-04-11 11:48:35.0
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高精度大型合成石英ガラス
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優れた光学特性！高純度、紫外線透過性、低熱膨張、低複屈折を実現しました！
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最終更新日：2022-04-11 11:48:35.0
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紫外線を透過する低熱膨張ガラス
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高い透過率と低い熱膨張を実現！高精度な位置合わせ・光軸合わせが重要な分野に！
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最終更新日：2022-04-11 11:48:35.0
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