株式会社第一科学

テクニカルレポート6『ナノ空間の湿度測定/発生技術』

最終更新日: 2019-11-05 15:01:23.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

体積法湿度制御装置を用いた「ナノ空間」の温湿度制御を紹介
本資料では、分流式供給装置では制御が難しい、
「ナノ空間」の温湿度制御技術について解説しています。

制御方法の仕組みのほか、分流式発生方法との相違点についても紹介しています。

関連情報

在庫あり!調湿ガス供給装置『Humi Cruise』
在庫あり!調湿ガス供給装置『Humi Cruise』 製品画像
【テクニカルレポート概要】
◎SPMにおける湿度制御技術
 ~走査型プローブ顕微鏡の最新温湿度コントロール~
◎ナノ空間の湿度測定/発生技術
 ~体積法精密湿度発生における湿度制御概念からの脱却~
◎光学セルの湿度測定/発生技術
 ~分流式精密湿度発生における湿度制御概念からの脱却~

【仕様】
加湿方法:飽和槽バブリング方式
加湿源:純水又は精製水
温度範囲 :+5~+80℃
温度安定性:±0.1℃以内(飽和槽内)
湿度範囲:10~90%rh ※ただし-36~+80℃DP以内
湿度安定性:±1%rh at 23℃
発生流量(ガス種):最大1L/min(0℃、1atmにて体積流量に換算)
耐圧性能:0.2MPa(ゲージ圧)
制御方式:二温度分流式湿度発生法による
飽和槽給水:レベルセンサによる自動給水
本体寸法(mm):431W×550D×299H
重量:29kg
使用環境温度:20~35℃
チャンバー接続保温ホース:長さ2m

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