上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
当社のジルコニア式酸素濃度計は、シリーズ毎にそれぞれ特長を持って
いますが、特に当シリーズはそのデザインにより、高純度ガス中の微量酸素
から真空雰囲気、燃焼排ガス中の酸素測定まで非常に幅広い用途でご使用
頂いています。
【掲載用途(抜粋)】
■高純度ガス、N2 PSA
■拡散炉、CVD 等
■N2 リフロー炉、ディップ炉
■不活性ガス、H2+N2
■CO+H2 雰囲気 など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
関連情報
【用途別一覧表】ジルコニア式酸素濃度計『TBシリーズ』
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※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【採用事例:エレクトロニクス・半導体分野】ジルコニア式酸素濃度計
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【ジルコニア式酸素計で解決できること】
○酸素濃度測定により雰囲気管理をして品質向上を目指したい
○真空中の酸素濃度を測定したい
○燃焼管理をして燃料コストを減らしたい
○PSA、ガス製造装置等クリーンガスの濃度管理をしたい
【特徴】
○検出部に安定化ジルコニアセラミックを使用したO2センサー
○ジルコニアセンサーは何重にも保護されており、ダストや腐食性ガスのアタックに強い構造
○測定する条件に応じて適したアクセサリを用意
○ppmO2レベルから100%O2までの幅広いレンジに対応
○真空対応品では1×10-3Pa(1×10-5Torr)の減圧下でのO2分圧測定が可能
〇熱処理炉内等の酸化・還元の雰囲気測定及び管理が可能(-O2%、CO+H2、mVレンジ)
○シンプルな構造の為、メンテナンスが容易
※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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第一熱研株式会社