上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2022/09
関連情報
ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり
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【カスタマイズ可な機能】
○漏洩センサー
○排気圧センサー
○非常停止スイッチ
○一時停止スイッチ（自動メカ付）
○扉センサー（自動メカ付）
○圧力スイッチ
○温度センサー（恒温度仕様）
○自動消火システム（有機用）
○パトライト
○網入りガラス又は強化ガラス（有機用）
○爆圧ハッチ（有機用）
○各種インターロック 等
※装置により一部機器は取付できない場合もございます 。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社ダルトン
