上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2022/09
関連情報
ポーラスシリコン形成装置(陽極酸化装置)
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【特長】
■多孔質シリコンを全自動にて形成します。
■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。
■N型、P型両方に対応出来ます。
■2~6インチまで各種サイズ対応いたします。8インチ以上はご相談ください。
ナノシリコン技術としてバイオメディカル・二次電池・太陽電池・半導体プロセス分野の新用途開発にも可能性が広がります。
※孔の直径やポーラスシリコン層の厚さはご相談下さい。
お問い合わせ
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株式会社ダルトン