上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
関連情報
FOUP洗浄装置
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OHT・AGV対応
フレームFOUPやFOSBと兼用も可能
装置がコンパクト。6軸ロボット未使用
手動機から自動機まで対応
洗浄室は真空チャンバー及び常圧チャンバーの選択が可能
VOC,AMC(分子状汚染物質)、パーティクル、湿度の要求対応可
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株式会社ダルトン