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- パソコンや電化製品の核となる半導体にも、ダルトンの技術が活きています。前工程の洗浄装置を中心に、安全性と機能性を兼ね備え、充実したラインナップで提供しています。
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レチクルキャリアストッカー - レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管
- 最終更新日：2024-12-23 15:27:13.0
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石英管保管庫
- 石英管や治具を安全に保管
- 最終更新日：2024-12-23 15:25:02.0
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- 薬品保管庫
- クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫
- 最終更新日：2024-04-16 11:35:10.0
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- 【半導体製造装置向け】排ガス処理装置（スクラバー）
- 排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設備が無い場所でも、安全な運転環境を実現できます。
- 最終更新日：2024-10-30 09:45:53.0
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溶剤再生装置（連続式）
- 廃溶剤を気化、再び液化して回収をする蒸留再生システム
- 最終更新日：2024-12-23 15:25:48.0
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バッチ式溶剤再生装置
- 廃溶剤を気化、再び液化して回収をする蒸留再生システム
- 最終更新日：2024-12-23 15:27:24.0
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スピンコーター組込みドラフトチャンバー
- ミカサ社製スピンコーターを組み込んだドラフトチャンバーです。
- 最終更新日：2024-12-23 15:28:03.0
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FOUP洗浄装置
- 特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です。
- 最終更新日：2024-12-23 15:24:20.0
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