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- 【研究施設】小型陰圧処理ユニット
- クリーンエアーを室外やブース外に排出し、看護エリアを陰圧に保ちます
- 最終更新日:2024-02-08 09:56:01.0
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- 【研究施設】バイオハザード対策用キャビネット クラスIIA2
- 前面開口高さが250mmに設定可能なバイオハザード対策用キャビネット
- 最終更新日:2024-02-08 10:10:32.0
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- 【研究施設】HEPAフィルター付パーテーション
- 大きな処理風量で高い効果が期待できる応用範囲の広いパーテーション
- 最終更新日:2024-02-08 09:53:42.0
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- バッチ式溶剤再生装置
- 廃溶剤を気化、再び液化して回収をする蒸留再生システム
- 最終更新日:2024-04-16 11:28:54.0
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- 溶剤再生装置(連続式)
- 廃溶剤を気化、再び液化して回収をする蒸留再生システム
- 最終更新日:2024-04-16 11:34:08.0
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- 排ガス処理装置(スクラバー)
- 排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設備が無い場所でも、安全な運転環境を実現できます。
- 最終更新日:2021-07-09 22:28:03.0
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- 薬品保管庫
- クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫
- 最終更新日:2024-04-16 11:35:10.0
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- 石英管保管庫
- 石英管や治具を安全に保管
- 最終更新日:2024-04-16 11:38:42.0
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- レチクルキャリアストッカー
- レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管
- 最終更新日:2024-04-16 11:29:30.0
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- スピンドライヤー
- 1キャリアから4キャリア処理まで対応可能。
- 最終更新日:2021-07-09 22:28:30.0
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- 手動陽極酸化装置
- 従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・電流密度により多孔質シリコンウエハーが形成されます。
- 最終更新日:2021-07-09 22:29:25.0
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- 石英管洗浄装置
- カセットや石英治具等、あらゆる治具の洗浄をご相談に応じて設計製作します。ステンレス製も可能です。
- 最終更新日:2024-04-16 11:35:40.0
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- ドラフトチャンバー(機器組込み型)
- ワークや用途に応じた仕様にカスタマイズが可能です。
- 最終更新日:2024-04-16 11:34:39.0
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- コンベア式エッチング装置
- お客様のご要望に沿ったカスタマイズ仕様。実験機から生産機まで対応可能です。
- 最終更新日:2024-04-16 11:31:59.0
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- ウエハー洗浄装置(スピン式)※テスト可能機種あり
- 生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現します。
- 最終更新日:2024-04-16 11:32:30.0