一度にウエハーの表面・裏面をブラシ洗浄する装置です。
2流体洗浄との併用により、強固な付着物や微細なパーティクル除去が可能です。
主にCMP後の洗浄で使用します。
装置内構成例：ローダー ⇒ 1.ブラシ洗浄チャンバー ⇒ 2.リンス乾燥チャンバー ⇒アンローダー
1.ブラシ洗浄チャンバー ⇒薬液シャワー → 両面ブラシ洗浄 → 純水リンス
2.リンス乾燥チャンバ― ⇒2流体(N2+純粋)洗浄 → MSシャワー(オプション) → N2ブロー乾燥
ご要望に合わせて制作致します。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ブラシ洗浄 |
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株式会社ダルトン
