株式会社電子技研
おすすめ情報
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- プラズマを用いた官能基修飾による表面改質で新たな機能を提供
- 難めっき樹脂・難接着樹脂へ「非粗化による直接めっき」や「接着剤レス直接接着」「接着剤との接着性向上」を実現！
- 最終更新日：2024-03-15 11:28:39.0
最新ニュース
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- 2022-11-10 00:00:00.0
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- 【2023年2月1日(水)～3日(金)】『SURTECH2023 表面技術要素展』出展のお知らせ
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- 2022-10-21 00:00:00.0
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- 質問集を作りました！株式会社電子技研
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- 2015-09-25 00:00:00.0
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- 粉体工業展に出展します！
注目製品情報
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- バレルタイププラズマ処理装置 ＰＢシリーズ
- バレルタイププラズマ処理装置「ＰＢシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去（Ashing）や油分の除去（Cleaning）、珪素化合物（ＳｉＯ2，ＳｉＮ）のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液（Ｗｅt）を使用すること無く行える装置です。良環境性（クリーンな作業環境、無廃液）と低ランニングコストを実現します。 全方向から処理が進行し、対象物の形状に問わず、ナノレベルの処理、洗浄、改質の効果を発揮します。 【装置特徴】 ■サンプル形状を選ばない自由な処理（円筒形処理室／等方性プラズマ） ■多様なプロセス：Ａｓｈｉｎｇ（洗浄）、Ｅｔｃｈｉｎｇ、表面改質等 ■部品は全てクリーンルーム対応（半導体製造装置として使用可能） ■廉価、小フットプリント設計 ■量産装置としてお使い頂ける安全仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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- 真空装置 基板用平行平板プラズマ処理装置 PC-RIEシリーズ
- 「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシング、デスミア、表面改質、Ｆ系ガスエッチング等の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○真空プラズマ技術は従来の処理に比べて良環境化 →クリーン化，無廃液化 ○低ランニングコスト ○処理可能基板サイズ550×650ｍｍ その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。
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- 真空装置 平行平板評価用プラズマ処理装置
- チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○8，12インチ用装置も設計可能 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。
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株式会社電子技研について
柔軟な発想と確固たる技術・安全性・信頼の創造を！
プラズマ・真空関連装置を中心に、洗浄装置、マテハン他、多分野において、多種多様なニーズに対応します。自社製品以外でも、OEM等、装置製造受託もフレキシブルに対応します。
プラズマ処理については、電子、医療他の多分野において、他企業や大学との共同研究開発を実施。受託処理のみも受付中。
設計等メーカーポジションを活かし、工場内の設備保守委託や装置メーカー様からの保守メンテナンス委託、既存設備の移設、中古設備リファブまで、自他社製問わず各種装置の保守メンテナンスをお請けします。
プラズマ処理については、電子、医療他の多分野において、他企業や大学との共同研究開発を実施。受託処理のみも受付中。
設計等メーカーポジションを活かし、工場内の設備保守委託や装置メーカー様からの保守メンテナンス委託、既存設備の移設、中古設備リファブまで、自他社製問わず各種装置の保守メンテナンスをお請けします。