上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
対象物の形状に因らず全方向から処理が進行し、ミクロンオーダーの微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質に効果を発揮します。
【装置特徴】
■サンプル形状を選ばない自由な処理(円筒形処理室/等方性プラズマ)
■多様なプロセス:Ashing(洗浄)、Etching、表面改質等
■部品は全てクリーンルーム対応(半導体製造装置として使用可能)
■廉価、小フットプリント設計
■量産装置としてお使い頂ける安全仕様
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関連情報
バレルタイププラズマ処理装置 PBシリーズ
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【装置仕様】
○装置フットプリント:幅650×奥行800×高さ1260
○処理室:φ300×L450石英チャンバー
○高周波発振器:13.56MHz/500W
○処理ガス:処理ガス2系統マスフロー制御
○真空排気:ドライポンプ
○制御:オート/マニュアル操作マイコン制御
○安全仕様:非常停止スイッチ、各インターロック
○ユーテイリテイー:電源、処理ガス、DryAir、N2、冷却水
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
サンプル形状を選ばず、自由に処理!バレルタイプ プラズマ処理装置
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【装置仕様】
○装置フットプリント:幅650×奥行800×高さ1260
○処理室:φ300×L450石英チャンバー
○高周波発振器:13.56MHz/500W
○処理ガス:処理ガス2系統マスフロー制御
○真空排気:ドライポンプ
○制御:オート/マニュアル操作マイコン制御
○安全仕様:非常停止スイッチ、各インターロック
○ユーテイリテイー:電源、処理ガス、DryAir、N2、冷却水
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株式会社電子技研