上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。
【掲載製品】
○マルチスピンプロセッサー
○枚葉スピンプロセッサー
○枚葉基板洗浄装置
○LCDマスク洗浄装置
○LCDカセット洗浄装置
○LCD枚葉エッチング装置
関連情報
WETプロセス装置 マルチスピンプロセッサー
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【特徴】
○基板をスプレー方式にて現像/エッチング/乾燥処理を行なう
【WET関連装置】
○マルチスピンプロセッサー
○枚葉スピンプロセッサー
○枚葉基板洗浄装置
○LCDマスク洗浄装置
○LCDカセット洗浄装置
○LCD枚葉エッチング装置
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WETプロセス装置 枚葉スピンプロセッサー
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【特徴】
○スピン/遠心力により、優れた均一性と再現性、除去性能
○無駄を省いた小フットプリント
（W1000×D1500×H110）～W1800×D2400×H2000
○ワークサイズ：160W×170L以下～730W×920L以下
【WET関連装置】
○マルチスピンプロセッサー
○枚葉スピンプロセッサー
○枚葉基板洗浄装置
○LCDマスク洗浄装置
○LCDカセット洗浄装置
○LCD枚葉エッチング装置
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WETプロセス装置 枚葉基板洗浄装置
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【特徴】
○基板を水平搬送にて、UV洗浄、ブラシ洗浄、シャワースプレー洗浄、
超音波洗浄、乾燥処理を行なう
【WET関連装置】
○マルチスピンプロセッサー
○枚葉スピンプロセッサー
○枚葉基板洗浄装置
○LCDマスク洗浄装置
○LCDカセット洗浄装置
○LCD枚葉エッチング装置
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WETプロセス装置 LCDマスク洗浄装置
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【特徴】
○LCD用マスクをブラシ及びUSスプレーにて洗浄し、
高速スピン回転により乾燥を行なう
【WET関連装置】
○マルチスピンプロセッサー
○枚葉スピンプロセッサー
○枚葉基板洗浄装置
○LCDマスク洗浄装置
○LCDカセット洗浄装置
○LCD枚葉エッチング装置
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WETプロセス装置 LCDカセット洗浄装置
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【特徴】
○LCD等のカセットを高圧温純水スプレーにて洗浄後、
HOTエアーブロー及びトルネードスピン回転により乾燥を行なう
【WET関連装置】
○マルチスピンプロセッサー
○枚葉スピンプロセッサー
○枚葉基板洗浄装置
○LCDマスク洗浄装置
○LCDカセット洗浄装置
○LCD枚葉エッチング装置
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WETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置
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【特徴】
○LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、
乾燥処理を行なう
【WET関連装置】
○マルチスピンプロセッサー
○枚葉スピンプロセッサー
○枚葉基板洗浄装置
○LCDマスク洗浄装置
○LCDカセット洗浄装置
○LCD枚葉エッチング装置
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お問い合わせ
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