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バレルタイププラズマ処理装置 PBシリーズ

最終更新日2017-04-19 11:53:37.0

  • カタログ

等方性プラズマを利用 微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質に最適!

バレルタイププラズマ処理装置「PBシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去(Ashing)や油分の除去(Cleaning)、珪素化合物(SiO2,SiN)のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液(Wet)を使用すること無く行える装置です。良環境性(クリーンな作業環境、無廃液)と低ランニングコストを実現します。
全方向から処理が進行し、対象物の形状に問わず、ナノレベルの処理、洗浄、改質の効果を発揮します。

【装置特徴】
■サンプル形状を選ばない自由な処理(円筒形処理室/等方性プラズマ)
■多様なプロセス:Ashing(洗浄)、Etching、表面改質等
■部品は全てクリーンルーム対応(半導体製造装置として使用可能)
■廉価、小フットプリント設計
■量産装置としてお使い頂ける安全仕様

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

バレルタイププラズマ処理装置 PBシリーズ 基本情報

【装置仕様】
○装置フットプリント:幅650×奥行800×高さ1260
○処理室:φ300×L450石英チャンバー
○高周波発振器:13.56MHz/500W
○処理ガス:処理ガス2系統マスフロー制御
○真空排気:ドライポンプ
○制御:オート/マニュアル操作マイコン制御
○安全仕様:非常停止スイッチ、各インターロック
○ユーテイリテイー:電源、処理ガス、DryAir、N2、冷却水

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価格
価格帯その他
納期 お問い合わせください
発売日 取扱い中
型番・ブランド名
用途/実績例 【用途】
電子部品、粉体、金型、医療分野等で様々なニーズにお応えします。
・レジストアッシング、Si02、SiN等のエッチング
・バンプ前処理/UBMメッキ前処理 /リードフレーム洗浄
・金属、樹脂等の表面改質(親水化/撥水化/還元)および洗浄(有機物除去)
・滅菌

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上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

バレルタイププラズマ処理装置 PBシリーズ

バレルタイププラズマ処理装置「PBシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物や油分の除去(Ashing)、珪素化合物(SiO2,SiN)のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液(Wet)を使用すること無く行える装置です。良環境性(クリーンな作業環境、無廃液)と低ランニングコストを実現します。
対象物の形状に因らず全方向から処理が進行し、ミクロンオーダーの微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質に効果を発揮します。

【装置特徴】
■サンプル形状を選ばない自由な処理(円筒形処理室/等方性プラズマ)
■多様なプロセス:Ashing(洗浄)、Etching、表面改質等
■部品は全てクリーンルーム対応(半導体製造装置として使用可能)
■廉価、小フットプリント設計
■量産装置としてお使い頂ける安全仕様

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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